日本ULVAC CFB-600復合分子泵 一、產品簡介
復合分子泵是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵，是由渦輪分子泵和盤式牽引泵組合而成，它同時具有渦輪分子泵分子流時抽速大、壓縮比高，牽引泵高壓強時抽速大、壓縮比高的特點，擴展了分子泵的應用范圍，廣泛應用于光伏、照明、航天航空、半導體、能源、軍工、激光、家電、材料、汽車、科研等真空技術的各個領域。
日本ULVAC CFB-600復合分子泵 二、產品特點
復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應；由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。
日本ULVAC CFB-600復合分子泵 三、主要性能指標
型號 | CFB-600 | ||
訂貨號 | 3151 | 3152 | |
進氣口法蘭 | — | LF160 | CF150 |
排氣口法蘭 | — | KF40 | |
抽氣速率 | L/s | 600 | |
壓縮比N2/H2 | — | 1×109/8×103 | |
極限壓強 | Pa | 5×10-7 | 8×10-8 |
電機轉速 | rpm | 24000 | |
啟動時間 | min | ＜4.5 | |
振動值 | μm | ≤0.1 | |
前極泵 | L/s | 4-8 | |
冷卻水溫度 | ℃ | ≤20 | |
泵體烘烤溫度 | ℃ | <120 | |
冷卻水流量 | L/min | 1 | |
加熱器功率 | W | <550 | |
加熱器輸入電壓 | V | AC220 | |
安裝方向 | — | 垂直±5° | |
重量 | kg | ～29 | |
四、特性曲線及安裝尺寸
CFB系列復合分子泵安裝尺寸表
型號規(guī)格 | CFB-600 | |
進氣口法蘭 | LF160 | CF150 |
D1 | Ф180 | Ф202 |
D2 | Ф236 | Ф236 |
D3 | □45.7 | □145.7 |
L1 | 128 | 128 |
L2 | 137 | 137 |
H1 | 395.5 | 395.5 |
H2 | 108 | 108 |
H3 | 135.5 | 135.5 |
H4 | 104 | 104 |
泵腿螺釘孔 | 4-M8 | 4-M8 |
